취급품목

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SMC

서모 칠러/고기능 타입 HRZ

서모 칠러(순환액 온조장치)

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● 높은 온도 안정성, 폭 넓은 온도범위, 고장 진단, 외부 통신 등 충실한 장비로
 반도체 프로세스 장치에 실적 다수
● 각종 안전 규격에 대응
● UL, SEMI 규격 적합, CE 마킹
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시리즈 설정온도 범위 냉각능력 온도안정성 냉각방식 순환액
HRZ -20〜40℃ 20〜90℃ -20〜90℃ 1kW, 2kW 4kW, 8kW ±0.1℃ 수냉 냉동식 불소화액 청수 탈이온수(순수) 에틸렌 글리콜 수용액(60%)