취급품목

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SMC

서모 칠러/고기능 인버터 타입 HRZ

서모 칠러(순환액 온조장치)

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● HRZ 시리즈의 고기능에 추가로 DC 인버터 컴프레서 채용하여 에너지 절약을 달성
● 폭 넓은 온도범위, 냉각능력 범위를 1대로 커버
● 이노베이션 사이클이 짧은 반도체 장치 등에 대응하며, 프로세스 조건의 변화에 유연하게 대응 가능
● UL, SEMI 규격 적합, CE 마킹
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시리즈 설정온도 범위 냉각능력 온도안정성 냉각방식 순환액
HRZ -20〜90℃ 10〜60℃ 10kW ±0.1℃ 수냉 냉동식 불소화액, 청수, 탈이온수(순수) 에틸렌 글리콜 수용액(60%)