SMC
방향제어기기
에어 실린더
로터리 액추에이터/에어 척
진공용 기기
압축공기 청정화기기
모듈러 F.R.L/압력제어기기
피팅&튜브
구동제어기기 (스피드 컨트롤러)
소음기/이그조스트 클리너/블로 건/압력계
스위치/센서/컨트롤러
유체제어용 기기
약액용밸브/피팅/니들밸브/튜브
온조기기
공업용 필터/소결금속 엘리먼트
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수냉각식 서모 칠러／고기능 타입 HRW 서모 칠러(순환액 온조장치) |
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● 공장내 순환수와의 직접 열 교환기
● 냉동기가 필요하지 않은 온도범위에서의 온도조절용 ● 높은 온도 안정성, 폭 넓은 온도범위, 고장 진단, 외부 통신 등 충실한 장비로 반도체 프로세스 장치에 실적 다수 ● UL, SEMI 규격 적합, CE 마킹 ● 인버터 타입의 선택 가능 
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