SMC
방향제어기기
에어 실린더
로터리 액추에이터/에어 척
진공용 기기
압축공기 청정화기기
모듈러 F.R.L/압력제어기기
피팅&튜브
구동제어기기 (스피드 컨트롤러)
소음기/이그조스트 클리너/블로 건/압력계
스위치/센서/컨트롤러
유체제어용 기기
약액용밸브/피팅/니들밸브/튜브
온조기기
공업용 필터/소결금속 엘리먼트
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상시 닫힘형 고진공 전자 밸브 XSA 소형 2·3포트 솔레노이드 밸브 |
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● 최저사용압력 : 1×10−6Pa(abs)
● 누설량 : 내부 1.3×10−9Pa·m3 /s, 외부 1.3×10−11Pa·m3 /s ● 2종의 피팅, 암나사를 구비 ● 소비전력 : 최대 25％ 삭감 ● 질량 : 최대 18％ 삭감 0.5kg→0.41kg 
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